• 堀场痕量气体在线分析仪370GA-370

    详细信息

     品牌:堀场  型号:GA-370  加工定制:否  
     类型:便携式  测量范围:0~1/2/5/10 ppm  测量对象:CO, CO2, 和 CH4  
     测量精度:10 ppb  响应时间:小于或等于180秒  电压:100~240 v 
     分辨率:≤±10%  尺寸:430(W)×221(H)×555(D) mm 重量:18 kg 
    痕量气体在线分析仪GA-370
     
    GA-370 用于空气分离和半导体工厂生产的高纯气体的质量管理,为气体生产设施的质量管理提供连续的,高灵敏度及高精确度的微量杂质(CO,CO2,CH4)监测。
     
    1. 高灵敏度的监测
           采用交替流动调制型双光束非分散红外吸收法(NDIR),零点极其稳定,无漂移。
           *小检测限(MDL)为10 ppb,可支持需要高精度测量的应用。
     
    GA-370痕量气体分析仪内置的红外光源的光束通过气室到达检测器。在测量过程中,电磁阀交替地将样气和参比气体引入到分析仪的测量气室中。
    与气室中充满参比气体时的情况相比,当气室中充满样气的时候,样气中的COCO2以及CH4会引起到达检测器的光强度的不同。检测器检测到的两种气体对光的吸收差异,使检测器薄膜发生偏转而振动。采用这种测量技术能省去光学斩波器和光学调整的需要,消除零点漂移,提高了灵敏度。
     
    二.高纯气体中微量杂质的监测
           可应用于典型平衡气体如:氮气,氧气,氦气,氩气,氢气和空气。
           如有需要用于测量其他平衡气的情况, 请联系我司。
     
    三.操作简便,免维护
         操作简便的屏幕菜单简化了分析仪的校准和测量等各项操作。
         无需光学调整。
         触摸式彩色液晶显示屏(LCD)能够以图表方式显示历史数据。
     
    四.典型应用
    一般情况下,工业气体如氧气和氮气,是由空气分离设备制造的。将除去水分(H20)和二氧化碳(CO2)的原料空气通入分离装置,分离装置利用氮气(N2)、氩气(Ar)和氧气(O2)三者沸点不同分离出不同气体。同样地,空气分离设备也能制造其他稀有或惰性气体,如氢气(H2)和氦气(He)。
    HORIBA GA-370痕量气体分析仪能有效测量分离后气体中的杂质,保证了气体质量。
     
    五.在线分析仪GA-370技术参数:
    型号: GA-370
    测量组分: CO, CO2 CH4
    高纯气体种类: N2O2He,  Ar,  H2,  Air
    测量组分数: 1-2种(由平衡气体种类决定)
    测量原理:交替流动调制型双光束非分散红外吸收法(NDIR
    量程:01/2/5/10 ppm
    检测下限:10 ppb
    零点漂移:≤±0.02 ppm/, ≤±0.03 ppm/
    量程漂移:≤±2% F.S./, ≤±3% F.S./
    响应时间:≤180s
    外形尺寸和重量:430(W)×221(H)×555(D) mm (不包括突出部分),约18 kg
    电源:100240 V AC,≤±10% (*大电压:250 V AC)
     
    日本堀场痕量气体在线分析仪GA-370 中国技术服务中心  中文说明书
     
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